Procédés - P1

Initiation aux plasmas :


Objectifs

Cette formation s'adresse aux personnels qui étudient ou qui utilisent les plasmas, qu'ils soient basse pression, avec des applications dédiées au traitement de surface, au dépôt ou à la gravure, dans des domaines très divers tels que la mécanique, l'optique, la décoration, la micro-électronique, ou qu'ils soient haute pression avec des applications conernant le déclenchement de combustion, la dépollution des rejets gazeux industriels et des transports, ou de l'air ambiant, le traitement des micro-organismes et de la matière vivante (stérilisation, décontamination), et la médecine (traitement de plaies chroniques, coagulation...).

 

 

Ce stage se déroule sur trois jours, avec une première moitié présentée cous forme de cours et une seconde moitié mettant en oeuvre les acquis par des travaux pratiques.
Le premier jour a pour but d'apporter des connaissances de base concernant la physique des plasmas (processus de créations et de pertes des espèces au sein du plasma, grandeurs caractéristiques qu'il est nécessaire de diagnostiquer pour une meilleure optimisation et un meilleur contrôle des procédés plasma). Il est suivi d'un cours décrivant les différents types de plasmas et de réacteurs à plasma, notamment ceux basse pression, et leurs domaines d'utilisation. Un cours ciblé sur les plasmas haute pression et leurs applications sera ensuite dispensé.

 

 

La deuxième partie du cours (2e matinée) concerne l'initiation aux diagnostics des plasmas, à la fois électriques (sondes de Langmuir) et optiques (spectroscopie d'émission et d'absorption). Le second après-midi et le 3e jour dédiés à la mise en pratique des connaissances acquises dans le domaine des diagnostics optiques et électriques des plasmas, grâce à des travaux pratiques effectués sur divers types de réacteurs à plasma et leurs diverses applications.

Pré-requis

Il faut avoir des notions de base telles que les gaz (artomes et molécules), états excités et ionisés (électrons et ions), l'énergie (cinétique et potentielle), potentiel et champs électriques et magnétiques. Des connaissances en chimie, mesures électriques et vide seraient bienvenues.

Programme

COURS



  • Initiation à la physique des plasmas:processus de création et de pertes

 

  • Grandeurs caractéristiques des plasmas (densités et énergies des espèces neutres et chargées, potentiels)
  • Production des plasmas :
    - Décharges électriques dans un gaz :continues - RF micro-ondes
    - Phénomènes aux électrodes, pulvérisation
 
  • Méthodes de diagnostics des plasmas :
    - Les sondes électrostatiques
    - La spectroscopie optique d'émission
    - La spectroscopie d'absorption
  • Réacteurs à plasma dans l'industrie
    - Plasma à haute pression et applications


TRAVAUX PRATIQUES

3 TP d'une demi-journée portant sur la caractérisation électrique (sonde de Langmuir) et optique (spectroscopie d'émission) sur différents types de réacteurs plasma (magnétron / micro-onde / RF)..

 

 

Date
21-23 Novembre 2017

Durée
3 jours / 21 heures

Lieu

Prix
Adhérent .........1 260 €
Non adhérent .....1 360 €

TP
50 %

Niveaux
I - II - III

Documents
Texte des cours

Animateur:
Olivier LEROY
Chargé de Recherche
olivier.leroy@u-psud.fr

Intervenants:
Tiberiu MINEA
Joao SANTOS SOUSA