SFV - Société Française du Vide. Formations, publications et promotion des métiers du vide. Techniques et applications du vide en milieu scientifique, milieu académique et milieu industriel

Ce stage de deux jours est destiné aux techniciens, ingénieurs et chercheursqui travaillent dans le domaine de l'optoélectronique,de la microélectronique et/ou mécanique. Il est destiné à élargir leurs connaissances et leurs savoir-faire concernant la caractérisation des couches minces pour des applications à la mécanique, à l'optoélectronique et à l'électronique. Après un exposé des principes physiques et des méthodes expérimentales, les principales applications aux semi-conducteurs seront présentées. Une journée sera consacrée à des expériences réalisées sur des équipements récents mis à disposition par les constructeurs.

COURS

• Rappel des lois de l'optique
• Méthodes de mesures ellipso-métriques
• Optique des rayons X
• Application à la réflectométrie
• Applications aux biocapteurs et aux semi-conducteurs

TRAVAUX PRATIQUES ET DÉMONSTRATION

• Ellipsométrie visible,ultra-violet et éventuellement infra-rouge
• Reflectrométrie X

COURS

• Notions de base en technique du vide
• Pompes primaires mécaniques
• Pompes à diffusion d'huile
• Pompes turbo-moléculaires
• Manométrie des basses pressions
• Pompes ioniques
• Pompes cryogéniques
• Détection de fuites

TRAVAUX PRATIQUES

• Démonstration des lois fondamentales
• Mise en évidence  des propriétés des vapeurs condensables (pompage de l'eau, paroi froide, gaz carbonique)
• Entretien des pompes primaires mécaniques
• Démontage et remontage (d’une pompe à palettes, d’une pompe sèche, d’une pompe Roots, d’une pompe turbomoléculaire)
• Manipulation sur différents groupes de pompage
• Visualisation de la pollution par l’huile à l’amorçage et au désamorçage d’une pompe à flux de vapeur
• Influence du regazage à l’air atmosphérique ou à l’azote sec

• Utilisation et étalonnage des jauges primaires (Pirani - Thermocouple -Mac Leod) et secondaires (Penning)
• Spectrométrie de masse des gaz résiduels
• Détection de fuites
• Pompes primaires sèches
• Pompes ionique et titane
• Pompes cryogéniques
• Démonstration de matériel

Les matières plastiques ne permettent pas d'adhérer et de déposer facilement une couche métallique. Aussi a-t-il fallu développer, comme pour les secteurs du collage, des peintures et vernis, différentes techniques de préparation de surface, puis mettre en place des procédures de métallisation.

Les techniques de préparation de surface sont très variées et consistent soit en des traitements chimiques, parfois sévères et toxiques, soit mécaniques ou bien encore physiques faisant intervenir des faisceaux d'électrons, d'ions voire des plasmas.

La métallisation peut, elle aussi,reposer sur des procédures chimiques ou physiques telles que l'évaporation et la pulvérisation...

> Les différents procédés :évaporation,pulvérisation

> La fonctionnalisation des plastiques : principes,procédés,applications

> La métallisation des plastiques : principes,procédés,applications

> Le contrôle de l'adhérence de la couche métallique

> Les caractérisations physicochimiques et électriques

> Le contrôle de l'adhérence de la couche métallique

Table ronde en fin d'après-midi avec les intervenants pour traiter les études de cas proposés par les stagiaires. Il est demandé aux stagiaires d'envoyer leurs études de cas avec le bulletin d'inscription.

Cette formation s’adresse aux concepteurs et utilisateurs d’installations sous vide. Elle a pour but de leur permettre d’évaluer le temps de pompage d’une installation et de les sensibiliser aux nombreux facteurs intervenant lors de la mise sous vide.

La maîtrise de ces facteurs est essentielle pour optimiser le dimensionnement de l’installation et du système de pompage associé. Les TP et TD permettront de réfléchir ensemble sur des cas pratiques et d’illustrer les phénomènes décrits en cours. Les résultats obtenus seront comparés à ceux fournis par un logiciel de calcul.

Pour suivre cette formation, une connaissance de base des techniques du vide estsouhaitable.

> Bref rappel des principes fondamentaux de physique du vide Etat gazeux - unités - lois des gaz parfaits - notions de théorie cinétique des gaz - écoulements

> Démonstration expérimentale d'une descente en pression

> Mise en évidence des différentesphases de pompage et des phénomènes associés

> Les principaux constituants d'uneinstallation et leur influence sur la mise sous videPompes - canalisations - jonctions - matériaux

> Pompage en vide primaire -Facteurs déterminants
   Calcul des temps de pompage

> Pompage en vide secondaire - Influence des conductances et des dégazages sur la mise sous vide ou plages de pompes - Calcul du dimensionnement des pompes primaires dans les systèmes de pompage

> Couplage primaire / secondaire -Couplage primaire / roots

TD
Exemple de calcul des temps de mise sous vide. Vérification des calculs avecun logiciel. Dimensionnement des pompes primaires dans les systèmes.

TP
Vérification expérimentale des temps de pompage. Mise en évidence de l'influence des paramètres externes(canalisations,humidité,dégazage...).